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聯(lián)系人:李金杰
手機(jī):156 1025 7566
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網(wǎng)址:www.jinchen18.com
晶體生長工藝設(shè)備
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晶體生長工藝設(shè)備
產(chǎn)品名稱:VGF晶體生長系統(tǒng)
用途:主要用于半導(dǎo)體材料(砷化鎵、磷化銦)的晶體生長。
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詳細(xì)介紹

爐體結(jié)構(gòu):          立式管狀;

適用尺寸:          2”--6”;

加熱體溫區(qū)數(shù):      6段;

顯示及監(jiān)控段數(shù):    6點(diǎn)控溫,多點(diǎn)監(jiān)控;

控制方式:          儀表控制或微機(jī)控制;

爐體最高工作溫度:  高溫區(qū)1280℃;

溫度控制精度:      優(yōu)于0.2℃;

儀表顯示精度:      0.1℃;

更詳細(xì)的參數(shù)歡迎來電垂詢!

上一個產(chǎn)品:多晶生長/合成爐 下一個產(chǎn)品:沒有了
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