晶體生長工藝設(shè)備
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晶體生長工藝設(shè)備
產(chǎn)品名稱:VGF晶體生長系統(tǒng)
用途:主要用于半導(dǎo)體材料(砷化鎵、磷化銦)的晶體生長。 瀏覽次數(shù):4142 |
詳細(xì)介紹
爐體結(jié)構(gòu): 立式管狀;
適用尺寸: 2”--6”;
加熱體溫區(qū)數(shù): 6段;
顯示及監(jiān)控段數(shù): 6點(diǎn)控溫,多點(diǎn)監(jiān)控;
控制方式: 儀表控制或微機(jī)控制;
爐體最高工作溫度: 高溫區(qū)1280℃;
溫度控制精度: 優(yōu)于0.2℃;
儀表顯示精度: 0.1℃;
更詳細(xì)的參數(shù)歡迎來電垂詢!
上一個產(chǎn)品:多晶生長/合成爐
下一個產(chǎn)品:沒有了
