◆主要技術指標◆
主機結構:雙層結構,分別放置加熱體及氣路系統,兩端為獨立的尾氣柜;
石英管尺寸:Φ120mm/Φ150mm/Φ180mm;
工作溫度:~1100℃;
升溫速度:~25度/分;
控溫精度:1100℃±1℃/24H;
控制系統:半自動/全自動,由PLC、上位機、質量流量控制器(MFC)及控制儀表組成;
設備使用氣體:H2、N2等;
設備參數可根據客戶要求定制。
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