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◆主要技術指標◆
高溫恒溫區：150mm~350mm；
溫度均勻性：1100℃±1℃；
壓力范圍：5.0×10-3Pa~常壓
工藝石英管規格：Φ80mm~Φ260mm；
石英管內可通H2、Ar等氣體
溫度、恒溫區、工藝管規格等均可根據客戶要求定做。